Industry 4.0 Readiness Assessment Model (IRAM) StdPbc-0709 Referenced SEMI Standards (purchase separately)

Referenced SEMI Standards (purchase separately)

FTMC012: Additive Manufacturing and Robotics

本手順の目的は精製器の性能を検証することであるが，それには分析機器を使用しガス不純物およびパーティクルを顧客仕様書に合わせて測定して検証する。特定の入口および／または入口の測定が要求される場合，顧客と事前に打ち合わせを行うべきである。入口不純物は100万分の1単位（ppm）または10億分の1単位（ppb）の分析ができる機器で測定されなければならない。この手順は，毎分50リットル（LPM）を超える大規模な流量のバルク精製器に対してだけ適用される。

SEMI G5-87 (technical revision)

Ion Implant equipment

Industry 4.0 Readiness Assessment Model (IRAM) StdPbc-0709 Referenced SEMI Standards (purchase separately)The Industry 4. 0 Readiness Assessment Model (IRAM) is intended as a tool to help organizations to assess their Industry 4. 0 technology deployment progress. Developed through a collaboration of SEMI and industry experts, the model is intended to guide companies across the semiconductor supply chain to identify technology enhancements critical to scaling and sustaining their smart manufacturing transformation. Benefits Provide a structured model to